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Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)
2016-03-24
Chroma 7936晶圓雙面檢測(cè)機(jī)為自動(dòng)化的切割后 晶粒檢測(cè)機(jī)，可以同時(shí)間進(jìn)行正反兩面的晶粒外 觀檢查。使用先進(jìn)的打光技術(shù)，可以清楚的辨識(shí) 晶粒的外觀瑕疵。結(jié)合不同的光源角度、亮度及 取像模式，使得Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)可以適用于新的制程如垂 直結(jié)構(gòu)晶粒或是覆晶晶粒。
由于使用的高速相機(jī)以及自行開(kāi)發(fā)之檢測(cè)演算 法，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)可以在4.5分鐘內(nèi)檢測(cè)完2 吋 LED晶圓， 換算為單顆處理時(shí)間為35msec。Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)同時(shí)也提 供了自動(dòng)對(duì)焦與翹曲補(bǔ)償功能，以克服晶圓薄 膜的翹曲與載盤(pán)的水平問(wèn)題。Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)可配置2種不 同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測(cè) 倍率。系統(tǒng)搭配的最小解析度為0.7um，一般來(lái) 說(shuō)，可以檢測(cè)2um左右的瑕疵尺寸。
系統(tǒng)功能
在擴(kuò)膜之后，晶?；蚓A可能會(huì)產(chǎn)生不規(guī)則的 排列，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)也提供了搜尋及排列功能以轉(zhuǎn)正晶 圓。此外，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)擁有人性化的使用介面可降低 學(xué)習(xí)曲線，所有的必要資訊，如晶圓分布、瑕疵 區(qū)域、檢測(cè)參數(shù)及結(jié)果等，均可清楚地透過(guò)軟體 介面呈現(xiàn)。
瑕疵資料分析
所有的檢測(cè)結(jié)果均會(huì)被記錄下來(lái)，而不僅僅是 良品/不良品的結(jié)果。這有助于找出一組最佳參 數(shù)，達(dá)到漏判與誤判的平衡點(diǎn)。瑕疵原始資料亦 有幫助于分析瑕疵產(chǎn)生之趨勢(shì)，并回饋給制程人 員進(jìn)行改善。
綜合上述說(shuō)明，Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)是晶圓檢測(cè)制程考 量成本與效能的最佳選擇。長(zhǎng)沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司作為臺(tái)灣Chroma公司湖南區(qū)域的總代理，以下為長(zhǎng)沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司為您簡(jiǎn)單介紹Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)及產(chǎn)品特點(diǎn)，如果您想對(duì)Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)有更多的了解，歡迎致電長(zhǎng)沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司，聯(lián)系電話：0731-84284278 84284378。更多產(chǎn)品信息歡迎點(diǎn)擊：www.mrcaleather.com。長(zhǎng)沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司。
Chroma Model 7936 雙面晶圓檢測(cè)系統(tǒng)主要特色：
可同時(shí)檢測(cè)晶圓正反兩面
最大可檢測(cè) 8 吋晶圓 (檢測(cè)區(qū)域達(dá)10 吋范圍 )
可因應(yīng)不同產(chǎn)業(yè)的晶粒更換或新增檢測(cè)項(xiàng)目
上片后晶圓自動(dòng)對(duì)位機(jī)制
自動(dòng)尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測(cè)規(guī)格
瑕疵檢出率高達(dá) 98%
可結(jié)合上游測(cè)試機(jī)晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設(shè)備
提供檢測(cè)報(bào)表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進(jìn)行分析
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